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Procesamiento de lingotes de silicio en la industria de semiconductores
Puntos clave En la preparación de obleas de semiconductores, los lingotes de silicio monocristalino se procesan en obleas desnudas con alta precisión superficial para litografía. The ingot processing flow includes cropping, molienda, Rebanar, Chaflanar, lapping and polishing, with slicing quality setting downstream workload. En la etapa de preparación de obleas de silicio monocristalino, the silicon ingots need to be processed into raw silicon wafers or barewa-fers with high surface accuracy and surface quality to prepare for planarization for lithography and other processes in the first half of the IC process. Ultra-smooth...