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Processamento de Lingotes de Silício na Indústria de Semicondutores
Principais Conclusões Na preparação de pastilhas de semicondutor, lingotes de silício monocristalino são processados em pastilhas nuas com alta precisão de superfície para litografia. O fluxo de processamento de lingotes inclui corte, esmerilhação, Cortar, Chanfrando, desbaste e polimento, com a qualidade do corte a definir a carga de trabalho a jusante. Na etapa de preparação do wafer de silício monocristal, os lingotes de silício precisam ser processados em wafers de silício brutos ou barewa-fers com alta precisão e qualidade de superfície para se preparar para a planarização para litografia e outros processos na primeira metade do processo de IC. Ultra-liso...