Общие статьи и обновления от Ensoll Tools.
обработка кремниевых слитков в полупроводниковой промышленности
ключевые выводы При приготовлении полупроводниковых пластин, однокристаллические кремниевые слитки перерабатываются в голые пластины с высокой точностью поверхности для литографии. Процесс обработки слитков включает обрезку, шлифование, разрезание на ломтики, закругление кромок, шлифование и полировку, с установкой качества резки для последующей загрузки. На стадии подготовки монокристаллической кремниевой пластины, кремниевые слитки должны быть переработаны в сырые кремниевые пластины или сырые пластины с высокой точностью поверхности и качеством поверхности для подготовки к планаризации для литографии и других процессов в первой половине процесса IC. Ultra-smooth...